Спектрофотометр Deep UV (Varian, США)

Описание

Первый в мире двухлучевой прибор для работ в области дальнего ультрафиолета (оптимизирован для работ от 140 до 260 нм). Этот прибор необходим при разработке оптических компонентов и химикатов, используемых в микролитографии (157 нм и ниже). Cary Deep UV позволяет преодолеть вакуумный барьер при измерении кремниевых подложек, фоторезисторов и т.п. Уникальные возможности спектрометра незаменимы при проведении измерений на длинах волн лазеров, применяемых при производстве интегральных схем (248.4, 193.4 и 157.6 нм).

Оптика с покрытием из фторида магния, источник - дейтериевая лампа с окном из MgF, специализированный ФЭУ с окном из MgF, двойная голографическая решетка (1200 линий/мм, угол блеска на 150 нм), приставка VW с покрытием MgF, система транспортировки проб с держателем пленок, набор специализированных программ ADL. Прибор размещается в боксе с инертной атмосферой (продувка азотом, рециркуляция).

Широкий выбор приставок, держателей кювет и твердых образцов (многокюветный блок, проточные кюветы, держатели кювет с водяным или Пельтье-термостатированием, приставки для измерения суммарной флоуресценции, сканирования пленок, приставки различных типов для измерения зеркального и диффузного отражения и многие другие)

Технические характеристики