ИК-Фурье спектрометр ФСМ 1201 (Россия)

Описание прибора:

ИК фурье - спектрометр ФСМ 1201 П представляет собой специализированный тестер полупро­ водниковых пластин на основе универсального фурье - спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двух - координатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье - спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полу­проводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F 1188 и F 1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии и ASTM F 95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа п-п⁺ или р-р⁺ и др. Возможно измерение толщины слоев в структурах КНС, определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Госреестре средств измерений России № 18895-99. Аттестация под­ тверждена на Украине и в Белоруссии.

Основные области применения:

• Химия и нефтехимия: Анализ сырья и продуктов органического синтеза. Структуроно-групповой и фракционный состав нефтепродуктов, контроль содержания бензола. Анализ топлив: эфиры, спирты, ароматика, октановое число
• Полимеры: Анализ сополимеров, идентификация полимерных композиций. Анализ модифицирующих добавок: пластификаторы, антиоксиданты
• Газовый анализ: Анализ многокомпонентных газовых смесей. Контроль качества продукции газовой промышленности, анализ состава и влажности природного газ
• Биотехнология и фармацевтика: Определение подлинности субстанций по ИК-стандартам. Контроль качества лекарственных форм и сырья
• Экологический контроль: Определение нефтепродуктов в воде и почве. Контроль атмосферного воздуха, воздуха рабочей зоны и выбросов промышленных предприятий

Основные контролируемые параметры:

Концентрация междуузельного кислорода
в пределах : (5x10¹⁵ - 2x10¹⁸ ) ± 5x10¹⁵ см^-3 ;

Концентрация углерода замещения
в пределах : (10¹⁶ - 5x10¹⁷ ) ± 10¹⁶ см^-3 ;

Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа п - п * и р - р *
в пределах : (0,5 - 10) ± 0.1 мкм , (10 - 200) ± 1% мкм ;

Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора / фосфора в слоях БФСС
в пределах : (1 - 10) ± 0.2 вес .%. 

Технические характеристики: