ИК-Фурье спектрометр ФСМ 1201П (Россия)

Описание:

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201 представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F1188 и F1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n⁺ или p-p⁺ и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Основные контролируемые параметры:

•         концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4-2 мм) в пределах: (5x10¹⁵-2x10¹⁸)± 5x10¹⁵ см^-3;
•         концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4-2 мм) в пределах: (10¹⁶-5x10¹⁷)±10¹⁶ см^-3;
•         толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n⁺ и p-p⁺ в пределах: (0.5-10)±0.1 мкм, (10-200)±1%    мкм;
•         концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1-10)±0.2 вес.%.

Технические характеристики: